一、個人簡介

 張友寶🐈‍⬛，男，1980年9月出生，漢族，籍貫：山東省臨邑縣，博士👨🏽‍🦰，中國科沐鸣上海光學精密機械研究所高級工程師。

 二、主要學習與工作經歷

 主要學習經歷🖕：

2003年於哈爾濱理工大學獲應用物理學士學位；

2006年於哈爾濱理工大學獲光學工程碩士學位🏦🉐；

2020年於中國科沐鸣上海光學精密機械研究所獲光學工程博士學位；

2006年-至今於中國科沐鸣上海光學精密機械研究所工作👨🏻‍🦼‍➡️🧛🏻‍♂️。

 三、代表性科研成果

 在02專項中負責高端光刻機照明控製系統研發🔭；獲由02專項光刻機工程指揮部頒發的“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”科技重大專項（02專項）“28nm浸沒光刻機照明分系統電控總設計師”聘書🧑🏼‍✈️；近5年在國外重要期刊發表論文2篇，均被SCI收錄；作為第一發明人授權發明專利1項；作為第一作者登記軟件著作權1項。

 四🤾🏿‍♂️、主要社會學術團體兼職

 無。

 五、主要研究方向

 高端光刻機控製系統，精密運動控製🦻🏻𓀔，精密光電檢測，機器視覺及圖像處理和分析，人工智能和CAD技術。

 六、在研項目

 1、中國科沐鸣先導A類激光等離子體專項“能量穩定控製系統”課題👚，2023-2027💁🏼👸🏽，課題負責人。

 2、中國科沐鸣先導A類激光等離子體專項“激光追蹤液滴”課題，2023-2027，課題骨幹。

 七🧔🏿‍♂️、聯系方式

 郵件地址：zhangyoubao@siom.ac.cn，18017122766