在產教融合的大背景下，我校精密光學測量研究團隊，結合國內產業需求和科技前沿👩🏻‍⚕️🦊，致力於利用先進的光學技術🕸、傳感技術🧖🏿、數字技術和電子技術，重點開展半導體晶圓平坦度5️⃣🚶‍♀️、缺陷、顆粒度等量測設備的研發與設計工作，推動半導體產業的自主創新與發展。該團隊的研究方向包括散斑幹涉計量🙌、機器視覺、光電圖像處理、光電檢測和抗震隔振技術等，涵蓋了半導體晶圓檢測的關鍵技術領域。在近期的研究中，該團隊取得了一系列特色成果，包括研發出動態環境三維形變檢測數字散斑幹涉系統及檢測方法、透鏡中心厚度的自動測量裝置、適用於微米級半導體薄膜厚度測量的儀器以及可以檢測半導體晶圓的三位輪廓、表面瑕疵以及平整度等參數的儀器等，並且獲得中國發明協會創新獎二等獎，在SCI、EI等重要學術期刊上發表了10余篇相關學術論文🤾🏼‍♂️，申請專利12項，這些成果將為半導體產業的發展提供重要支持🧑🏿‍🏫。

 團隊鼓勵學生積極參與產學研融合項目👧🏼，提供實踐機會🚱。學生們在實驗室中與教師、研究員合作，參與實際工程項目的設計☂️、實驗和數據分析等工作。碩士生孫佳興同學在老師的指導下與企業合作，研發了FTIR技術與全光譜擬合技術，實現了半導體襯底、晶圓厚度測量系統的核心算法研發；碩士生邵倚濛同學目前在和某知名企業合作研究基於幹涉圖質量分析的激光幹涉儀抗振技術，實現了幹涉圖抗振的算法，該技術在很大程度上保證了高質量圖像的獲取，通過這種實踐性的學習方式，他們有大量機會接觸到前沿的光學技術和工程實踐🎍，為未來的學術和職業發展奠定堅實基礎👼🏿。